Die Papier- und Microfilmarchive werden seit einigen Jahren Schritt für Schritt digitalisiert. Die Teile der Bestände, die bereits digitalisiert sind, werden elektronische Archiveinheiten genannt.

Die digitalisierten Bestände des ITS-Archivs sind in vier verschiedene Teilbereiche gegliedert:

1. Inhaftierung und Verfolgung
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2. Registrierungen von Ausländern und deutschen Verfolgten durch öffentliche Einrichtungen, Versicherungen und Firmen (1939 - 1947)
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3. Registrierungen und Akten von "Displaced Persons", Kindern und Vermissten
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4. Sondereinrichtungen und -maßnahmen der NSDAP
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5. Verschiedenes
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6. Schriftgut des ITS und seiner Vorgänger
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Stand: Mai 2011